Posted in | Sputtering Systems

Seri ATC Internasional AJA Sputtering Sistem

Para AJA International, Inc ATC Seri Sistem Thin Film Deposition adalah alat serbaguna yang lapisan dapat dibangun dalam berbagai konfigurasi untuk memenuhi hampir setiap kebutuhan. Sistem ini dibangun sekitar AJA yang unik A300-XP (Uhv) atau Seri stiletto (HV) magnetron sputtering sumber yang fitur in-situ sumber memiringkan kepala memungkinkan deposisi con-fokus, langsung, dan off-sumbu tepat dan berulang. Sistem yang lebih besar dilengkapi dengan tugas berat kerekan hidrolik untuk mengangkat bagian atas ruang untuk mengakses sistem - ayunan ruang atas ke sisi baik di bagian atas hoist yang stroke. Menengah dan kecil sistem ATC fitur top berengsel dengan shock gas yang membantu mekanisme untuk akses ruang mudah.

Substrat pemegang dari 1 "sampai 10" diameter tersedia dengan pemanasan sampai 1000 ° C dan / atau substrat pendingin dari ambien sampai LN 2 suhu. AJA magnetron menggerutu sumber dari 1 "diameter 12" diameter ditambah versi persegi panjang dan segitiga dapat dimasukkan.

Sistem deposisi ini teknik multi-sistem dapat juga dilengkapi dengan penguapan sinar elektron, evaporasi termal, Knudsen sel, PLD, ion sumber untuk Ibad, menghadapi sasaran sumber sputtering (FTS), hubungi sistem masking, kotak sarung tangan, auto-loading sistem kaset, RHEED, Auger analisis, dan RGA itu.

Khas Konfigurasi Sistem Sputtering

  • ATC 1300 (13 "diameter)
  • ATC 1500 (15 "diameter)
  • ATC 1800 (18 "diameter)
  • ATC 2000 (20 "diameter)
  • ATC 2200 (22 "diameter)
  • ATC 2400 (24 "diameter)
  • ATC 2800 (28 "diameter)

Jumlah maksimum sumber menggerutu akan tergantung pada ukuran substrat, konfigurasi dan ukuran sumber magnetron menggerutu. Sebagai contoh, ATC 1800 dapat dilengkapi dengan (5) 2 "magnetrons dengan in-situ miring. AJA menawarkan 1", 1,5 ", 2", 3 ", 4" diameter sumber persegi panjang dan segitiga pada seri ATC. Konsultasikan pabrik untuk konfigurasi optimal.

Last Update: 3. October 2011 13:57

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment