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AJA 国際的な ATC シリーズ放出させるシステム

AJA International、 Inc. ATC シリーズ薄膜の沈殿システムはほとんど条件を満たすためにいろいろ構成で構築することができる多目的なコーティングのツールです。 これらのシステムは AJA の in-situ ソースヘッドに傾くことを特色にする一義的な A300-XP (UHV) のまわりでまたは小剣シリーズ (HV) マグネトロンのソース放出させる精密で、反復可能な共焦点を、直接許可します、および以外軸線の沈殿構築され。 大型システムは頑丈な油圧起重機によってシステム・アクセスのための区域の上 - 起重機の打撃の上のどちらかの側面への区域の上の振動を持ち上げるために合います。 中型および小さい ATC システムは容易な区域アクセスのためのガスの衝撃の援助のメカニズムが付いている蝶番を付けられた上を特色にします。

10" への 1" からの基板のホールダーは直径 1000°C に包囲されたから LN 2 の温度に冷却する暖房および/または基板と使用できます。 AJA のマグネトロンは 12" に 1" からのソースを直径長方形と直径放出させ、三角バージョンは組み込むことができます。

これらの複数の技術の沈殿システムシステムはまた電子ビームの蒸発、熱蒸発、 Knudsen のセル、 PLD の IBAD のためのイオンソースと接触の覆うシステムのグローブボックス、 (FTS)自動起動カセットシステム、 RHEED、オーガーの分析および RGA に直面するターゲット放出させるソース合う、ことができます。

典型的な放出させるシステム構成

  • ATC 1300 (13" 直径)
  • ATC 1500 (15" 直径)
  • ATC 1800 (18" 直径)
  • ATC 2000 年 (20" 直径)
  • ATC 2200 (22" 直径)
  • ATC 2400 (24" 直径)
  • ATC 2800 (28" 直径)

最大数はの基板のサイズ、構成によってソースを決まります放出させ、マグネトロンはソースサイズを放出させます。 例えば、 ATC 1800 は (5) 2" と in-situ 傾きのマグネトロン合うことができます。 AJA は 1つ、 1.5"、 2つ、 3つ、 4つを ATC シリーズの直径の長方形および三角ソース提供します。 最適構成のための工場に相談して下さい。

Last Update: 3. February 2012 16:26

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