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Posted in | Sputtering Systems

Série Internacional do ATC de AJA que Engasga Sistemas

Os Sistemas do Depósito do Filme Fino da Série do ATC de AJA Internacional, Inc. são as ferramentas versáteis do revestimento que podem ser construídas em uma grande variedade de configurações para satisfazer quase toda a exigência. Estes sistemas são construídos em torno do magnétron original do A300-XP de AJA (UHV) ou da Série do Estilete (ALTA TENSÃO) que engasga as fontes que caracterizam a inclinação principal da fonte in situ permitindo engodo-focal preciso e repetível, directo, e o depósito da fora-linha central. Os sistemas Maiores são cabidos com uma grua hidráulica resistente para levantar a parte superior para o acesso de sistema - os balanços da câmara da parte superior da câmara a um ou outro lado na parte superior do curso da grua. Os sistemas Médios e pequenos do ATC caracterizam uma parte superior articulada com mecanismo da assistência de choque do gás para o acesso fácil da câmara.

Os suportes da Carcaça de 1" a 10" diâmetro estão disponíveis com aquecimento a 1000°C e/ou carcaça que refrigera de ambiental às temperaturas de LN 2. As fontes do salpico do magnétron de AJA de 1" diâmetro a 12" diâmetro mais versões retangulares e triangulares podem ser incorporadas.

Estes sistemas dos sistemas do depósito da multi-técnica podem igualmente ser cabidos com a evaporação do feixe de elétron, evaporação térmica, pilhas de Knudsen, PLD, fontes de íon para IBAD, enfrentando o alvo que engasgam fontes (FTS), sistemas do contacto, caixas de luva, sistemas da gaveta da auto-carga, RHEED, a análise do Eixo Helicoidal, e RGA de máscara.

Configurações de Sistema Típicas Engasgar

  • ATC 1300 (13" diâmetro)
  • ATC 1500 (15" diâmetro)
  • ATC 1800 (18" diâmetro)
  • ATC 2000 (20" diâmetro)
  • ATC 2200 (22" diâmetro)
  • ATC 2400 (24" diâmetro)
  • ATC 2800 (28" diâmetro)

O número máximo de fontes do salpico dependerá do tamanho do tamanho, da configuração e do magnétron do salpico da fonte da carcaça. Por exemplo, o ATC 1800 pode ser cabido com (5) o 2" magnétrons com inclinação in situ. AJA oferece 1", 1,5", 2", 3", 4" fontes retangulares e triangulares do diâmetro na série do ATC. Consulte a fábrica para a configuração a melhor.

Last Update: 3. February 2012 16:32

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