Posted in | Sputtering Systems

AJA International ATC Series Sputtering Systems

Ang AJA International, Inc. ATC Series manipis Film salaysay Systems ay maraming nagagawa gamit ng patong na maaaring binuo sa isang malawak na iba't-ibang ng kumpigurasyon upang masiyahan ang halos anumang kinakailangan. Ang mga sistema na ito ay binuo sa paligid AJA ng natatanging A300-XP (UHV) o panusok Series (HV) magnetron sputtering mga pinagkukunan na kung saan tampok sa-situ Pagkiling source ulo na nagpapahintulot sa tiyak at repeatable kontra-focal, direct, at off-axis salaysay. Mas malaki system ay marapat na may isang mabigat na tungkulin haydroliko pagtataas sa angat sa tuktok ng silid para sa access ng sistema - ang tuktok swings ng kamara sa alinman sa bahagi sa tuktok ng ang pagtataas ng stroke. Medium at maliit na mga system ng ATC tampok ng isang hinged tuktok na may gas shock tulungan mekanismo para sa madaling access sa kamara.

Substrate ang mga may hawak mula sa 1 "sa 10" diameter ay magagamit sa pagpainit sa 1000 ° C at / o substrate pinapalamig mula sa paligid sa LN 2 temperatura. AJA magnetron utal na pagsasalita ng mga pinagkukunan mula sa 1 "lapad na 12" diameter plus hugis-parihaba at tatsulok na mga bersyon ay maaaring inkorporada.

Ang mga multi-salaysay ng diskarteng system system ay maaaring marapat sa pagsingaw ng sinag ng elektron, thermal pagsingaw, Knudsen cell, PLD, Ion mga mapagkukunan para sa IBAD, nakaharap sa mga mapagkukunan ng target sputtering (FTS), makipag-ugnay ang system ng masking, glab box, auto-loading cassette system, RHEED, manghuhula pagtatasa, at RGA ay.

Karaniwang mga Sputtering configuration ng System

  • ATC 1300 (13 "diameter)
  • ATC 1500 (15 "diameter)
  • ATC 1800 (18 "diameter)
  • ATC 2000 (20 "diameter)
  • ATC 2200 (22 "diameter)
  • ATC 2400 (24 "diameter)
  • ATC 2800 (28 "diameter)

Ang maximum na bilang ng mga pisik pagmumulan depende sa laki ng substrate, configuration at magnetron pisik source laki. Halimbawa, ang ATC 1800 ay maaaring maging karapat-dapat sa (5) 2 "magnetrons sa-situ ikiling. AJA nag-aalok ng 1", 1.5 ", 2", 3 ", 4" lapad hugis-parihaba at tatsulok na pinagkukunan sa serye ng ATC. Konsultahin ang mga pabrika para sa mga pinakamabuting kalagayan configuration.

Last Update: 9. October 2011 20:09

Comments
  1. 小林 李 小林 李 People's Republic of China says:

    I am think purchase the AJA equipment parts,Where can I buy this accessories?

The opinions expressed here are the views of the writer and do not necessarily reflect the views and opinions of AZoNano.com.
Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment