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クルトJ. Lesker会社からALD 200Lシリーズ

複雑なR&Dアプリケーションのための基礎研究や、完全に統合された堆積システムのためのクルトJ. Lesker会社のオファーがスタンドアロンALDシステム。私たちのALDシステムプラットフォームのすべては、あなたの特定のプロセスに最適化された高速ALDバルブと統合された、ポンピング圧力の測定、およびガス供給のパッケージを特長としています。

主な機能:

  • 粘性流動ALDリアクターチャンバー
  • Cabnitの設計は、反応物の入力の多数を可能にする
  • 前面ポート基板ローディング温水ステンレスチャンバー
  • 8"径の基板に対応
  • 500名まで加熱基板° C
  • 200加熱線° C
  • ガスインターロックと完全に疲れキャビネット
  • レシピ駆動プロセス制御ソフトウェア
  • オプションは次のとおりです。リモートプラズマ、ロードロック、クローズドループ制御によるガスのバブラーを

Last Update: 4. October 2011 15:05

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