Серия ALD 200L от Курта J. Lesker Компании

Системы предложения отдельно стоящие ALD Курта J. Lesker Компании для фундаментальных исследований или вполне интегрированные системы низложения для сложных применений R&D. Вся из наших платформ системы ALD отличают высокоскоростными клапанами ALD и интегрированными нагнетать, измерением давления, и пакетами поставки газа оптимизированными для вашего специфического процесса.

Главные особенности:

  • Камера реактора Вязкостной подачи ALD
  • Конструкция Cabnit позволяет для большого количества входных сигналов реактанта
  • Heated камера нержавеющей стали с нагрузкой субстрата передн-порта
  • Приспосабливает 8" субстраты диаметра
  • Субстрат нагрюя до 500°C
  • Heated линии к 200°C
  • Польностью вымотанный шкаф с блокировками газа
  • Управляемое Рецептом ПО управления производственным процессом
  • Варианты включают: дистанционная плазма; замок нагрузки; барботер газа с управлением короткозамкнутого витка

Last Update: 11. January 2012 08:06

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment