Серия ALD 200L от Курта J. Lesker Компании

Серия ALD 200L от Курта J. Lesker Компании

Системы предложения отдельно стоящие ALD Курта J. Lesker Компании для фундаментальных исследований или вполне интегрированные системы низложения для сложных применений R&D. Вся из наших платформ системы ALD отличают высокоскоростными клапанами ALD и интегрированными нагнетать, измерением давления, и пакетами поставки газа оптимизированными для вашего специфического процесса.

Главные особенности:

  • Камера реактора Вязкостной подачи ALD
  • Конструкция Cabnit позволяет для большого количества входных сигналов реактанта
  • Heated камера нержавеющей стали с нагрузкой субстрата передн-порта
  • Приспосабливает 8" субстраты диаметра
  • Субстрат нагрюя до 500°C
  • Heated линии к 200°C
  • Польностью вымотанный шкаф с блокировками газа
  • Управляемое Рецептом ПО управления производственным процессом
  • Варианты включают: дистанционная плазма; замок нагрузки; барботер газа с управлением короткозамкнутого витка

Last Update: 11. January 2012 08:06

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment