Системы предложения отдельно стоящие ALD Курта J. Lesker Компании для фундаментальных исследований или вполне интегрированные системы низложения для сложных применений R&D. Вся из наших платформ системы ALD отличают высокоскоростными клапанами ALD и интегрированными нагнетать, измерением давления, и пакетами поставки газа оптимизированными для вашего специфического процесса.
Главные особенности:
- Камера реактора Вязкостной подачи ALD
- Конструкция Cabnit позволяет для большого количества входных сигналов реактанта
- Heated камера нержавеющей стали с нагрузкой субстрата передн-порта
- Приспосабливает 8" субстраты диаметра
- Субстрат нагрюя до 500°C
- Heated линии к 200°C
- Польностью вымотанный шкаф с блокировками газа
- Управляемое Рецептом ПО управления производственным процессом
- Варианты включают: дистанционная плазма; замок нагрузки; барботер газа с управлением короткозамкнутого витка