Kurt J. Lesker företaget erbjuda fristående ALD system för grundforskning eller helt integrerade system deposition för komplexa FoU-program. Alla våra ALD systemplattformar har hög hastighet ALD ventiler och integrerade pumpning, tryckmätning och gas paket leverans optimerad för just din process.
Viktiga funktioner:
- Viskös strömning ALD reaktor kammare
- Cabnit design tillåter många reaktant ingångar
- Uppvärmd kammare av rostfritt stål med front-port substrat lastning
- Rymmer 8 "diameter substrat
- Substrat värme upp till 500 ° C
- Uppvärmd linjer till 200 ° C
- Helt utmattad skåp med gas förreglingar
- Recept process styrprogram
- Alternativen är: avlägsna plasma; last lås, gas bubbelflaskan med sluten styrning