ALD 200L serien från Kurt J. Lesker Company

Kurt J. Lesker företaget erbjuda fristående ALD system för grundforskning eller helt integrerade system deposition för komplexa FoU-program. Alla våra ALD systemplattformar har hög hastighet ALD ventiler och integrerade pumpning, tryckmätning och gas paket leverans optimerad för just din process.

Viktiga funktioner:

  • Viskös strömning ALD reaktor kammare
  • Cabnit design tillåter många reaktant ingångar
  • Uppvärmd kammare av rostfritt stål med front-port substrat lastning
  • Rymmer 8 "diameter substrat
  • Substrat värme upp till 500 ° C
  • Uppvärmd linjer till 200 ° C
  • Helt utmattad skåp med gas förreglingar
  • Recept process styrprogram
  • Alternativen är: avlägsna plasma; last lås, gas bubbelflaskan med sluten styrning

Last Update: 4. October 2011 15:05

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment