Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

ALD 200L serien från Kurt J. Lesker Company

Kurt J. Lesker företaget erbjuda fristående ALD system för grundforskning eller helt integrerade system deposition för komplexa FoU-program. Alla våra ALD systemplattformar har hög hastighet ALD ventiler och integrerade pumpning, tryckmätning och gas paket leverans optimerad för just din process.

Viktiga funktioner:

  • Viskös strömning ALD reaktor kammare
  • Cabnit design tillåter många reaktant ingångar
  • Uppvärmd kammare av rostfritt stål med front-port substrat lastning
  • Rymmer 8 "diameter substrat
  • Substrat värme upp till 500 ° C
  • Uppvärmd linjer till 200 ° C
  • Helt utmattad skåp med gas förreglingar
  • Recept process styrprogram
  • Alternativen är: avlägsna plasma; last lås, gas bubbelflaskan med sluten styrning

Last Update: 4. October 2011 15:05

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment