NanoLith 7000 von Cymer Inc.

NanoLith 7000 von Cymer Inc.

Eine Auslegung der vierten Generation, das NanoLithTM 7000 liefert die erforderliche Spitzenleistung und die Stabilität bei der Lieferung einer in hohem Grade Zeile-verengten Bandweite, um die zwingenden Bedingungen der Großserienproduktion heute zu erfüllen. Das NanoLith 7000 bietet eine Bandweite von < 0,5 P.M. FWHM und < 1,3 P.M. 95-Prozent-Energieintegral an, das zukünftige Scanner mit hohen Objektiven der Numerischen Öffnung aktiviert, die Auflösung für Subvention zu produzieren 100 nm-Einheiten.

Heutige Chip-Hersteller suchen Lichtquellen, die den kritischen Übergang in der Berührungswellenlänge von 248 nm unter Verwendung des Kryptonfluorids (KrF) bis 193 nm unter Verwendung des Argonfluorids (ArF) beim Beibehalten der Leistungs- und Volumennachfragen der Mainstreamherstellung machen. Das NanoLith 7000 wurde konstruiert, um diese Nachfragen zu befriedigen.

Betrachten Sie diesen Nutzen des NanoLith 7000:

  • Der Wellenlängen-Stabilisierungs-Block (WSM) entbindet Justagenwellenlängenregelung der hohen Genauigkeit, um optimale Scharfeinstellung, maximale Berührungsbreite und verbesserte CD-Regelung sicherzustellen.
  • In Hohem Grade hoch entwickelte Metrologiehilfsmittel optimieren Spektralverteilung, um maximalen Prozessspielraum zu entbinden.
  • Auslegungs-Leistungsfähigkeits-Verbesserungen laden Blocklebenszeiten durch einen Faktor von fünf oder mehr mit dem Ergebnis eines erwarteten 80 Prozent Kosten Verbrauchsmaterial (CoC)reduzierung über 5000 Serie ArF-Anlagen auf.
  • Zuverlässigkeit, die Sie ein zählen können und Befolgung aller Sicherheitsvorschriften treffen das NanoLith 7000 die Wahl für Chip-Hersteller weltweit.
  • Zuverlässigkeit, die Sie ein zählen können und Befolgung aller Sicherheitsvorschriften treffen das NanoLith 7000 die Wahl für Chip-Hersteller weltweit.

Last Update: 3. June 2015 10:04

Other Equipment