NanoLith 7000 von Cymer Inc.

Ein vierter Generation Design bietet der NanoLithTM 7000 die erforderliche Leistung und Stabilität und bietet eine hoch-line verengten Bandbreite, um die strengen Anforderungen der Großserienfertigung heute gerecht zu werden. Die NanoLith 7000 bietet eine Bandbreite von <12.05 Uhr FWHM und <13.03 Uhr 95 Prozent Energie Integral, das Next-Generation-Scanner ermöglicht mit hoher numerischer Apertur Linsen, die Auflösung für sub 100 nm-Geräte zu produzieren.

Heute Chiphersteller suchen Lichtquellen, die den kritischen Übergang in Belichtungswellenlänge von 248 nm mit Krypton-Fluorid (KrF) bis 193 nm unter Verwendung von Argon-Fluorid (ArF) unter Beibehaltung der Leistung und Volumen Anforderungen der Mainstream-Produktion. Die NanoLith 7000 wurde entwickelt, um diese Anforderungen zu erfüllen.

Betrachten Sie diese Vorteile der NanoLith 7000:

  • Die Wellenlängenstabilisierung Module (WSM) bietet eine hohe Genauigkeit Tuning Wellenlänge steuern, um eine optimale Fokus-Steuerung, maximale Breite und verbesserte CD-Steuerung zu gewährleisten.
  • Hochentwickelte Messtechnik-Tools optimieren spektrale Verteilung, um maximale Prozess-Marge liefern.
  • Design Effizienzverbesserungen steigern Modul Lebensdauer um den Faktor fünf oder mehr was zu einem erwarteten 80 Prozent Kosten für Verbrauchsmaterial (CoC) Reduktion über 5000 Series ArF-Systeme.
  • Zuverlässigkeit, die Sie sich verlassen können und die Einhaltung aller Sicherheitsvorschriften der NanoLith 7000 die Wahl für Chiphersteller weltweit zu machen.
  • Zuverlässigkeit, die Sie sich verlassen können und die Einhaltung aller Sicherheitsvorschriften der NanoLith 7000 die Wahl für Chiphersteller weltweit zu machen.

Last Update: 4. October 2011 00:31

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