Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

NanoLith 7000 van Inc. Cymer.

Een ontwerp van de vierde generatie, NanoLithTM 7000 zorgt voor de vereiste outputmacht en de stabiliteit terwijl het verstrekken van een hoogst lijn-versmalde bandbreedte om aan de strenge vereisten van hoog volumeproductie vandaag te voldoen. NanoLith 7000 biedt een bandbreedte van < 0.5 p.m. FWHM aan en < 1.3 p.m. de integraal van de 95 percentenenergie, die volgende-generatiescanners met de hoge Numerieke lenzen van de Opening toelaat om de resolutie voor sub 100 NMapparaten te veroorzaken.

Chipmakers Van Vandaag streven naar lichtbronnen die de kritieke overgang in blootstellingsgolflengte van 248 NM gebruikend kryptonfluoride (KrF) aan 193 NM gebruikend argonfluoride (ArF) maken terwijl het handhaven van de prestaties en volumeeisen van heersende stroming productie. NanoLith 7000 werd ontworpen om deze eisen te ontmoeten.

Overweeg deze voordelen van NanoLith 7000:

  • De Module van de Stabilisatie van de Golflengte (WSM) levert de hoge controle van de nauwkeurigheids stemmende golflengte om optimale nadrukcontrole, maximumblootstellingsbreedte, en betere CD controle te verzekeren.
  • De Hoogst verfijnde metrologiehulpmiddelen optimaliseren spectrale distributie om maximumprocesmarge te leveren.
  • De de efficiencyverbeteringen van het Ontwerp voeren modulelevens door een factor van vijf op of resulterend in verwachte 80 percenten kosten van verbruiksgoederen (CoC)vermindering meer dan de systemen van ArF van 5000 Reeksen.
  • De Betrouwbaarheid u kan tellen en de naleving van alle veiligheidsverordeningen maakt tot NanoLith 7000 de keus voor over de hele wereld chipmakers.
  • De Betrouwbaarheid u kan tellen en de naleving van alle veiligheidsverordeningen maakt tot NanoLith 7000 de keus voor over de hele wereld chipmakers.

Last Update: 11. January 2012 07:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment