NanoLith 7000 de Cymer Inc.

NanoLith 7000 de Cymer Inc.

Um projecto da quarto-geração, o NanoLithTM 7000 fornece o potência de saída e a estabilidade exigidas ao fornecer uma largura de faixa altamente linha-reduzida para cumprir hoje as exigências estritas da produção do volume alto. O NanoLith 7000 oferece uma largura de faixa < de 0,5 pm FWHM e < 1,3 pm a integral de energia de 95 por cento, que permite varredores da próxima geração com as lentes altas da Abertura Numérica de produzir a definição para o sub 100 dispositivos do nanômetro.

Os fabricantes de chips De Hoje procuram as fontes luminosas que fazem a transição crítica no comprimento de onda da exposição de 248 nanômetro usando o fluoreto do crípton (KrF) a 193 nanômetro usando o fluoreto do argônio (ArF) ao manter as procuras do desempenho e do volume da fabricação do grosso da população. O NanoLith 7000 foi projectado encontrar estas procuras.

Considere estes benefícios do NanoLith 7000:

  • O Módulo da Estabilização do Comprimento De Onda (WSM) entrega o controle de ajustamento do comprimento de onda da precisão alta para assegurar o controle óptimo do foco, a latitude de exposição máxima, e o controle melhorado do CD.
  • As ferramentas Altamente sofisticadas da metrologia aperfeiçoam a distribuição espectral para entregar a margem máxima do processo.
  • As melhorias da eficiência do Projecto impulsionam vidas do módulo por um factor de cinco ou mais tendo por resultado uns 80 por cento previsto do custo da redução (CoC) dos materiais de consumo sobre sistemas de ArF de 5000 Séries.
  • Confiança que você pode contar sobre e a conformidade com todas as normas de segurança faz o NanoLith 7000 a escolha para fabricantes de chips mundial.
  • Confiança que você pode contar sobre e a conformidade com todas as normas de segurança faz o NanoLith 7000 a escolha para fabricantes de chips mundial.

Last Update: 3. June 2015 10:06

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