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NanoLith 7000 de Cymer Inc.

Um projeto de quarta geração, o 7000 NanoLithTM fornece a potência de saída necessária e estabilidade, proporcionando uma largura de banda altamente linha reduzido para atender aos rigorosos requisitos de produção de alto volume hoje. O 7000 oferece uma largura de banda NanoLith de <12:05 FWHM e 1,3 <95 pm integrante de energia por cento, o que permite que a próxima geração de scanners de alta abertura numérica lentes para produzir a resolução para 100 dispositivos sub nm.

Fabricantes de chips de hoje procuram fontes de luz que fazem a transição crítica no comprimento de onda de 248 nm a exposição usando krypton flúor (KrF) a 193 nm usando argônio flúor (IRA), mantendo as exigências de desempenho e volume de produção mainstream. O NanoLith 7000 foi projetado para atender a essas demandas.

Considerar estes benefícios do NanoLith 7000:

  • O comprimento de onda de Estabilização Module (WSM) proporciona alta precisão de controle de comprimento de onda de sintonia para garantir controle de foco ideal, latitude de exposição máxima e controle de CD melhorado.
  • Ferramentas de metrologia altamente sofisticados otimizar distribuição espectral para entregar a margem máxima de processo.
  • Melhorias na eficiência de design impulsionar vidas módulo por um fator de cinco ou mais, resultando em um custo por cento esperados 80 de consumíveis redução (CoC) mais de 5000 Series ArF sistemas.
  • Confiabilidade que você pode contar e cumprimento de todas as normas de segurança tornam o NanoLith 7000 a escolha para os fabricantes de chips em todo o mundo.
  • Confiabilidade que você pode contar e cumprimento de todas as normas de segurança tornam o NanoLith 7000 a escolha para os fabricantes de chips em todo o mundo.

Last Update: 17. October 2011 07:51

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