Enutveckling design, NanoLithTMen 7000 ger krävd tillverkat driver och stabilitetsstunder som ger en högt fodra-begränsad bandbredd för att möta de stränga kraven av kickvolymproduktionen i dag. NanoLithen 7000 erbjuder en bandbredd av < 0,5 pm FWHM och < 1,3 pm den 95 procent energiintegralen, som möjliggör nästa generationbildläsare med linser för den Numeriska Öppningen för kicken till jordbruksprodukter upplösningen för sub 100 nm-apparater.
Det Dagens chipmakerssökanden tänder källor som gör den kritiska övergången i exponeringsvåglängd från 248 nm genom att använda kryptonfluorförening (KrF) till 193 nm genom att använda stunder för argonfluorförening som (ArF) underhåller kapacitets- och volymbegärningarna av konventionellt fabriks-. NanoLithen 7000 planlades för att möta dessa begärningar.
Betrakta dessa gynnar av NanoLithen 7000:
- VåglängdStabiliseringsEnheten (WSM) levererar kickexakthet som trimmar våglängd kontrollerar för att se till att optimalt fokusera kontrollerar, maximat exponeringsfrihet, och förbättrad CD kontrollerar.
- Högt sofistikerad metrology bearbetar optimerar spektral- fördelning för att leverera det processaa maximat förser med marginal.
- Designeffektiviseringar ökar enhetslivstidar vid en dela upp i faktorer av fem eller resultera i en förväntad 80 procent kosta av förbrukningsmaterial (CoC)förminskning över ArF för 5000 Serie system.
- Pålitlighet som du kan räkna på, och överensstämmelse med alla skyddsföreskrifter gör NanoLithen 7000 det primat för världsomspännande chipmakers.
- Pålitlighet som du kan räkna på, och överensstämmelse med alla skyddsföreskrifter gör NanoLithen 7000 det primat för världsomspännande chipmakers.