Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

NanoLith 7000 från Cymer Inc.

Enutveckling design, NanoLithTMen 7000 ger krävd tillverkat driver och stabilitetsstunder som ger en högt fodra-begränsad bandbredd för att möta de stränga kraven av kickvolymproduktionen i dag. NanoLithen 7000 erbjuder en bandbredd av < 0,5 pm FWHM och < 1,3 pm den 95 procent energiintegralen, som möjliggör nästa generationbildläsare med linser för den Numeriska Öppningen för kicken till jordbruksprodukter upplösningen för sub 100 nm-apparater.

Det Dagens chipmakerssökanden tänder källor som gör den kritiska övergången i exponeringsvåglängd från 248 nm genom att använda kryptonfluorförening (KrF) till 193 nm genom att använda stunder för argonfluorförening som (ArF) underhåller kapacitets- och volymbegärningarna av konventionellt fabriks-. NanoLithen 7000 planlades för att möta dessa begärningar.

Betrakta dessa gynnar av NanoLithen 7000:

  • VåglängdStabiliseringsEnheten (WSM) levererar kickexakthet som trimmar våglängd kontrollerar för att se till att optimalt fokusera kontrollerar, maximat exponeringsfrihet, och förbättrad CD kontrollerar.
  • Högt sofistikerad metrology bearbetar optimerar spektral- fördelning för att leverera det processaa maximat förser med marginal.
  • Designeffektiviseringar ökar enhetslivstidar vid en dela upp i faktorer av fem eller resultera i en förväntad 80 procent kosta av förbrukningsmaterial (CoC)förminskning över ArF för 5000 Serie system.
  • Pålitlighet som du kan räkna på, och överensstämmelse med alla skyddsföreskrifter gör NanoLithen 7000 det primat för världsomspännande chipmakers.
  • Pålitlighet som du kan räkna på, och överensstämmelse med alla skyddsföreskrifter gör NanoLithen 7000 det primat för världsomspännande chipmakers.

Last Update: 23. January 2012 02:54

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this equipment listing?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment