從 Cymer Inc. 的 NanoLith 7000。

一個第四代設計, NanoLithTM 7000 提供必需的輸出功率和穩定性,當提供高度線路縮小的帶寬今天時符合大容積生產的嚴密要求。 NanoLith 7000 提供帶寬 < 0.5 pm FWHM 和 < 1.3 pm 95% 能量積分,使下一代掃描程序以高數值口徑透鏡導致潛水艇的解決方法 100 個毫微米設備。

今天芯片製造商尋找由 248 毫微米做在風險波長的重要轉移使用氪氟化物的光源 (KrF) 到 193 毫微米使用氬氟化物 (ArF),當維護主流製造時性能和數量需求。 NanoLith 7000 被設計適應這些需要。

考慮 NanoLith 7000 的這些福利:

  • 波長安定模塊 (WSM)提供高精確度調整的波長控制保證最佳的重點控制、最大曝光寬容度和被改進的 CD 的控制。
  • 非常完善的計量學工具優選光譜分佈提供最大處理毛利。
  • 設計效率改善由五個或多個的系數提高模塊壽命造成一期望的 80% 可消耗減少的費用 5000 系列 ArF 系統。
  • 您能計數的可靠性,并且遵照所有安全規章做出 NanoLith 7000 芯片製造商的選擇全世界。
  • 您能計數的可靠性,并且遵照所有安全規章做出 NanoLith 7000 芯片製造商的選擇全世界。

Last Update: 23. January 2012 02:52

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