Die Serie Nano--HS ist ein Hochgeschwindigkeits, Multiachsen, nanopositioning Anlage der Präzision mit dem Picometer, der Auflösung in Position bringt. Anbietende maximale Vielseitigkeit, das Nano--HS kann konfiguriert werden, um X-Y- oder XYZ-Antrag zur Verfügung zu stellen. Die Internen Stellungsgeber, die eigene PicoQ-Technologie verwenden, stellen absolute, wiederholbare Lagemessung unter Regelung zur Verfügung. Der kompakte Abdruck, ultra-niedrigen die Geräuscheigenschaften und eine Z-Schwerpunkt Eigenfrequenz 5kHz machen es Ideal für Metrologieanwendungen, die Geräuschböden weniger als 10 Picometers und/oder Hochgeschwindigkeitsleistung benötigen.
Merkmale
- Große Geschwindigkeit, Multiachsen
- X-Y- und XYZ-Konfigurationen
- Z-Schwerpunkt Einstellzeit unten zu 2ms
- Z-Schwerpunkt scannt bis 300 Hz
- Regelung
- Picometer, der Auflösung in Position bringt
Typische Anwendungen
- Große Geschwindigkeit, Positionierung der hohen Auflösung
- Metrologie
- FLUGHANDBUCH
- SPM