NPS-XY-100A 是与集成电容位置检测器的一个压力浏览的弯曲引导的 nanopositioning 的阶段。 它由超级英瓦合金制成并且有能力在子毫微米解决方法和增殖率上。
它有能力在子毫微米解决方法和增殖率上。 对弯曲指导结构的有限元分析使寄生角动降低到少于在充分的 100 微米范围的 25 个微型弧度。
超级英瓦合金建筑 (CTE 0.3ppm K-1， c.f。 在 NPS-XY-100A nanopositioning 的系统的-1 23ppm K) 的 Al 使热量偏差减到最小，在毫微米等级是非常重要的。 唯一地壳均衡的挂接系统保证从挂接系统的重点适当地被解除并且设立这个阶段的中心，当协调参考点。
功能
NPS-XY-100A nanopositioning 的系统性能：
- > 100 个测微表旅行在与子毫微米解决方法的每个轴
- < 0.005% 迟滞现象和线性错误
- 第一谐振频率 > 350 Hz
- 高带宽 (> 50 Hz) 和快速响应时间
- 原地扫描和阶跃响应优化
- 与 NPS-Z-15A 或 NPS-Z-15H 的使用 XYZ 选项的
- 超级英瓦合金建筑
应用
NPS-XY-100A nanopositioning 的系统是配合的使用在：