NPS-XY-100A 是與集成電容位置檢測器的一個壓力瀏覽的彎曲引導的 nanopositioning 的階段。 它由超級英瓦合金製成并且有能力在子毫微米解決方法和增殖率上。
它有能力在子毫微米解決方法和增殖率上。 對彎曲指導結構的有限元分析使寄生角動降低到少於在充分的 100 微米範圍的 25 個微型弧度。
超級英瓦合金建築 (CTE 0.3ppm K-1， c.f。 在 NPS-XY-100A nanopositioning 的系統的-1 23ppm K) 的 Al 使熱量偏差減到最小，在毫微米等級是非常重要的。 唯一地殼均衡的掛接系統保證從掛接系統的重點適當地被解除并且設立這個階段的中心，當協調參考點。
功能
NPS-XY-100A nanopositioning 的系統性能：
- > 100 個測微表旅行在與子毫微米解決方法的每個軸
- < 0.005% 遲滯現象和線性錯誤
- 第一諧振頻率 > 350 Hz
- 高帶寬 (> 50 Hz) 和快速響應時間
- 原地掃描和階躍響應優化
- 與 NPS-Z-15A 或 NPS-Z-15H 的使用 XYZ 選項的
- 超級英瓦合金建築
應用
NPS-XY-100A nanopositioning 的系統是配合的使用在：