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從 KLA-Tencor 的 AlphaStep® D-500 鐵筆仿形銑床

KLA-Tencor 的阿爾法步驟® D-500 鐵筆仿形銑床是提前描出的高分辨率第 2 的一個易用設備,配置文件縫的,第 2 個重點和許多另外的功能。 鐵筆仿形銑床以一種創新光學槓桿傳感器技術和 140mm 指南階段為特色。 它與先進的光學一起也包括多才多藝的範例形象化的被改進的視頻控制。

D-500 鐵筆仿形銑床有這個功能確定在第 2,從毫微米到毫米跨步,軟的材料,高分辨率坎坷和薄膜重點的一定數量的應用,從而做它一最靈活的第 2 臺鐵筆仿形銑床可用在這個市場上。

關鍵功能

AlphaStep D-500 鐵筆仿形銑床的® 主要功能包括:

  • 直觀用戶接口
  • 在 1200µm 的最高的垂直的範圍
  • 步驟 5Å 的高度反覆性在 1µm 步驟的
  • 與 4x 數字式縮放的高分辨率 5MP 彩色攝影機
  • 在 0.03 的低強制評定對 15g
  • 主要更正和弧更正軟件特點

應用

AlphaStep D-500 鐵筆仿形銑床的® 主要應用包括:

  • 太陽
  • LED
  • MEMS
  • 大學
  • 數據存儲
  • 半導體
  • 醫療設備
  • 材料研究
  • 政府實驗室

Last Update: 9. February 2015 12:45

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