Le Serie dello Sviluppo di KLA-Tencor di profilatori dello Stilo offrono una messa a fuoco completa della soluzione sui bisogni della comunità di ricerca e di assistenza tecnica. La Nostra Serie dello Sviluppo di prodotti di superficie del profilatore è destinata per abbinare i requisiti vari dei nostri clienti con la consegna dei prodotti completi, l'integrazione delle nuove tecnologie e la prestazione migliore.
- lunghezza di scansione di 55 millimetri
- Intervallo del sensore di Z fino a 1,2 millimetri
- 200mm hanno motorizzato il campione che posiziona la fase (moto di 150mm x178 millimetro)
- Controllo di Forza 0.03mg - 10mg
- Windows XP, Vista e Windows 7 compatibile
I sistemi di AlphaStep® D-120 fornisce la vasta gamma delle capacità caratteristiche dell'applicazione, compreso un intervallo massimo da 1,2 millimetri Z, una risoluzione dell'sotto-angstrom, una ripetibilità di altezza di punto di 6 angstrom, le fasi DI X-Y motorizzate e molte altre funzionalità. Con le sue fasi DI X-Y motorizzate di 178mm X di 150, il AlphaStep® D-120 può essere programmato per effettuare automaticamente le misure multiple alle posizioni differenti sul campione. Come funzionalità aggiunta, il D-120 incorpora un 4X macchina fotografica motorizzata dello zoom per visualizzazione altamente versatile del campione. Per il ricercatore o l'ingegnere dei metodi di trasformazione, il AlphaStep® D-120 consegna la grande prestazione con il valore eccezionale.
L'interfaccia grafica ha un'interfaccia del multi-documento che permette che un utente acquisti e video continuamente i dati di scansione. Ciò permette all'utente di analizzare i dati mentre acquista le misure supplementari. I comandi del software del profilatore supportano le scansioni da livellare automaticamente, le funzionalità di scansione misurate e video in un formato compatibile di Excel sullo schermo. Tutte finestre sono indipendenti che significano i pannelli di controllo e le finestre di pannello dati, finestra in tempo reale di scansione, la finestra di risultati di dati può fluttuare o essere messa in bacino dovunque sullo schermo. Questa funzionalità dà all'utente un ambiente completamente flessibile in cui acquistare ed analizzare i dati.
Le Applicazioni di AlphaStep® D-120 includono:
- Tessitura Di Superficie
- Altezza di punto di Precisione
- Modulo Di Superficie
- Sforzo della pellicola Sottile
- Biologico
- MEMS
- rappresentazione 3D
- Caratterizzazione Materiale