Posted in | Profilometers

Профилометр P-6 от KLA Tencor

Ситема анализа profiler и поверхности грифеля P-6 предлагает продвинутые особенности сочетание из для отростчатого развития и управления изготавливания научного исследования, фотовольтайческое солнечное изготавливание, хранение данных, MEMS, оптоэлектронику, и другие промышленные применения метрологии. Профилировать грифеля P-6 и поверхностная ситема анализа используют многочисленние технологии платформы и измерения от систем profiler полупроводника KLA-Tencor самых предварительных для поверхностного анализа топографии - programmable этап развертки, малошумные, и высокомарочное, высокое разрешение длиной просматривают -- но в более малой, более экономичной конструкции для субстратов до 150mm.

Ситема анализа profiler и поверхности грифеля P-6 способна адресовать широкий диапазон измерений и применений:

Применения

Ситема анализа профилировать и поверхности 3D грифеля P-6 способна адресовать широкий диапазон измерений и применений как:

  • Тонкий фильм
    Высоты шага Измерения и поверхностная шершавость после низложения тонкого фильма.
  • Высоты шага плотной пленки
    Высоты шага Измерения и поверхностная структура на плотных пленках, как серебряные линии затира в продукции фотогальванического элемента.
  • Фото сопротивляет/мягко фильмы
    Переменное давление, воспринимать положения емкости и заменимые радиусы грифеля включают поверхностную метрологию этих мягких фильмов.
  • Вытравленная глубина шанца
    Вариант радиуса грифеля Субмикрона и совмещенная чувствительность высоты ангстром-уровня, делают метрологию глубины шанца возможной.
  • Характеризация Материалов для высот шага поверхностной шершавости и waviness
    ПО анализа Вершины легко высчитывает больше чем 40 поверхностных параметров, включая поверхностную шершавость и waviness. Вычисления могут быть для 2D разверток или ареальных разверток 3D.
  • Поверхностные погнутость и форма
    Высчитайте погнутость от измерения, или прокладывать курс погнутости и сформируйте в моделях 3D. Варианты включают автономный анализ данных для прокладки курса и анализ которые не режут в урожайность.
  • 2D усилие тонких фильмов
    Измеряя усилие тонких фильмов может помочь оптимизировать процессы, предотвращает треснуть и проблема прилипания.
  • Текстура Анализа размерностей и поверхности
    Ли наклон и плоскостность, или waviness и шершавость в 2D или зона и том, распределение отсчета пика и коэффициенты подшипника в 3D, P-6 предлагает многосторонность и общее назначение.
  • воображение 3D различных поверхностей
    ПО Вершины обеспечивает предварительное воображение 3D любой измеренной области.
  • Плоскостность или погнутость
    См. и квантифицируйте плоскостность и погнутость измеренных линий или областей.
  • Измените анализ просмотрения и дефекта
    Предварительная функциональность обнаруживает характеристики путем включать определяемые пользователем модели. Как Только обнаружено даже малые характеристики можно расположиться и центризоваться в центре просмотрение дефекта развертки, оптимизировать и анализ

Last Update: 31. January 2012 23:56

Ask A Question

Do you have a question you'd like to ask the manufacturer of this equipment or can you provide feedback regarding your use of this equipment?

Leave your feedback
Submit
Other Equipment by this Supplier
Other Equipment