Profileur De Non Contact Optique de Métrologie Extérieure de Précision - Zeta 300 des Instruments de Zeta

L'outil de métrologie du suface Zeta-300 fournit l'isolement acoustique intégral pour réduire les effets des courants de son et d'air sur des mesures d'échantillon. En recueillant des données sur les structures qui sont moins de 1µm élevé, même les petites vibrations ont entraîné par le son et les bruits d'air peuvent affecter vos résultats. Ajouté à une table optionnelle d'isolement, le Zeta-300 fournit l'exactitude et la répétabilité inégalées par d'autres profileurs optiques.

Matériel Flexible et Choix de Logiciels

Dans la recherche, il est souvent imprévisible quel type de surface vous devrez mesurer. À cet effet, le Zeta-300 a un design modulear qui tient compte d'un éventail d'options de mesure de matériel ainsi que de progiciels :

  • Spectromètre d'Épaisseur de Film
  • QDIC/Nomarski pour la rugosité de nanomètre-échelle
  • objectif hybride de l'interféromètre iX5
  • Stade Piézo-électrique pour la Z-Définition 3nm
  • Stades d'Inclinaison, supports témoin et mandrins d'aspirateur
  • La caractéristique technique Automatique trouvent/logiciels de mesure
  • Calcul Automatique de surface, analyse statistique
  • … et beaucoup plus !

Métrologie d'Application-Specifific

L'outil de métrologie de la surface Zeta-300 est adapté aux applications comme donné ci-dessous.

Analyse de LED, de PSS et de PEC

  • Hauteur, Diamètre et Hauteur De Son Automatiques pour PSS
  • Analysez les mémoires annexes de vernis photosensible ou de poteau-gravure à l'eau forte PSS
  • La caractéristique technique Automatique trouvent, rugosité pour l'analyse de MESA de poteau-epi
  • 2", 4" et 6" mandrins d'aspirateur de disque

Analyse de pile Solaire et de disque

  • Hauteur, Largeur et Volume Automatiques de Doigt
  • Surface Poly-SI et Mono-SI et Texture
  • Épaisseur de Film de l'AR de Silicium-Nitrure
  • Le doigt Multisite et automatique trouvent
  • mandrin solaire d'aspirateur de disque de 156mm

Micro-Fluidique et analyse de MEMS

  • Profilage Transparent de multi-surface
  • Tranchée Profonde/profilage bon et élevé de caractéristique technique de rapport hauteur/largeur
  • Curseurs et coupes transversales Programmables

Métrologie d'EZ

  • Séquences et image multi-CHAMP DE VISION 3D Multisites piquant avec l'option d'autostage
  • Compensation Automatique de Pente et de caractère onduleux
  • Mise à niveau Automatique de Surface
  • Hauteur Automatique de Caractéristique technique, cotes, cornière, zone
  • Rugosité Linéaire et régionale Automatique

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:46

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