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精密表面の度量衡学の光学無接触型彫機 - ゼータの器械からのゼータ 300

ゼータ300 の suface の度量衡学のツールはサンプル測定で音および空気流れの効果を減らすために必要な音響の隔離を提供します。 高い 1µm 以下ある構造のデータを集めるとき小さい振動により音によって引き起こし、空気妨害は結果に影響を与えることができます。 任意選択隔離表とつながれて、ゼータ300 は他の光学型彫機によって無比正確さおよび反復性を提供します。

適用範囲が広いハードウェア及びソフトウェアオプション

研究では、それは頻繁にどのような表面を測定する必要があるか予測不可能です。 これを念頭において、ゼータ300 により広い範囲のハードウェアの測定オプション、またソフトウエアパッケージを可能にする modulear デザインがあります:

  • フィルム厚さの分光計
  • ナノメータースケールの荒さのための QDIC/Nomarski
  • iX5 ハイブリッド干渉計の目的
  • 3nm Z 解像度のための Piezo 段階
  • 傾きの段階、サンプルホールダーおよび真空のチャック
  • 自動機能/測定のソフトウェアは検出します
  • 自動表面積の計算、統計分析
  • …そして大いに多く!

アプリケーションSpecifific 度量衡学

ゼータ300 の表面の度量衡学のツールは下記に説明されているようにアプリケーションに適します。

LED、 PSS 及び PEC の分析

  • PSS のための自動高さ、直径及びピッチ
  • 光硬化性樹脂または後腐食 PSS の隆起を分析して下さい
  • 自動機能は、後epi メサの分析のための荒さ検出します
  • 2"、 4" 及び 6" ウエファーの真空のチャック

太陽電池およびウエファーの分析

  • 自動指高さ、幅及びボリューム
  • 多 Si およびモノラル Si 表面積及び質
  • ケイ素窒化物 AR のフィルム厚さ
  • 複数のサイトおよび自動指は検出します
  • 156mm の太陽ウエファーの真空のチャック

マイクロ流体素子工学および MEMS の分析

  • 透過に複数の表面の側面図を描くこと
  • 深い堀/健康で及び高いアスペクトレシオ機能側面図を描くこと
  • プログラム可能なカーソルおよび横断面

EZ の度量衡学

  • autostage オプションとステッチする複数のサイトシーケンス及び複数の FOV 3D 画像
  • 自動斜面及びうねりの補償
  • 自動に表面の水平になること
  • 自動機能高さ、次元、角度、領域
  • 自動線形および面積荒さ

 

 

Last Update: 16. July 2013 07:48

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