現実的な、一般目的の cryogen なしのプローブ端末 - 湖の海岸モデル CRX-6.5K

モデル CRX-6.5K は直径で完全な装置の非破壊的なテストに使用する cryogen なし、低価格、マイクロ処理されたプローブ端末および部分的なウエファー 51 までの mm (2) です。 CRX-6.5K のプラットホームが材料およびテスト装置の電気光学、電気、パラメーター付き、高い Z、 DC、 RF およびマイクロウェーブ特性を測定するのに使用されています。 Quantum のワイヤーおよび点、 nanoscale の電子工学および半導体は CRX-6.5K で測定される典型的な材料です。 ケーブル、プローブ、サンプルホールダー、ヘルプの幅広い選択は特定の測定アプリケーションを満たすために CRX-6.5K を設定します。

CRX-6.5K は Sumitomo 6.5 K の基準温度 CCR に基づき、 350 K に液体の cryogens の操業費なしで温度較差の効率的な温度操作そして制御をのより少しにより 10 K 提供します。 20K への 675K の温度較差は任意選択交換可能な高温サンプル段階によって提供されます。 サンプル交換のための速い熱応答そして急速なウォーミングアップを可能にするために radiationn の盾の段階およびサンプルは両方センサーおよびヒーターを与えられます。 その実行中に冷却された保護はサンプルに達し、サンプル段階によって冷却されるプローブが小さい熱勾配を保障する前に黒体放射を代行受信します。

CRX-6.5K は装置機能でプローブの先端を正確に上陸させるために 6 つまでの超安定したマイクロ処理されたプローブアームによって設定されるユーザー各々の可能になる精密な 3 軸線のプローブの位置制御です。 各プローブの回転はサンプルときちんと一直線に並びます複数の先端のプローブを保障する軸線についてのされた ±5° (planarized) である場合もあります。 DC の測定は低雑音、高インピーダンス (低い漏出)、またはテストの下の装置への高熱接触のために最適化することができます (DUT)。 RF の測定は 67 の GHz まで構成が含まれています。 光学ソースの導入はビューポートの Windows か任意選択光ファイバプローブアーム修正によって行われます。 サイズおよび材料の範囲の専有プローブアームは熱大容量を減らし、 DUT に電気接触を最適化します。 DUT への熱伝達を最小化するためになお、プローブの先端はサンプル段階に熱的にリンクされます。

主要特点

モデル CRX-6.5K プローブ端末の主要特点は次のとおりです:

  • クローズド・サイクル冷却装置は安定性が高い cryogen なしの操作をからの提供します <10 K="" to="" 350="" K="">
  • 20 K からの 675 K への任意選択温度較差
  • プローブはに冷却されるサンプル段階に熱的に固定します <25 K="" at="" base="" temperature="">
  • プローブアームセンサーはプローブの温度を監視するために提供されます
  • 20 mK への制御安定性
  • 4 h のサンプル交換サイクル時間
  • サンプル段階で低い振動デザイン 2 以下 µm を持っています
  • DC からの 67 の GHz への測定
  • 低雑音、高周波かまたは高いインピーダンス測定のために最適化されるホールダーを見本抽出して下さい
  • 51 までの mm (2) の直径のウエファーを取り扱います
  • 6 つまでの熱的に固定されたマイクロ処理されたプローブと設定可能武装します
  • 3 軸線の調節および ±5° の planarization のアームを厳密に調べて下さい

Last Update: 4. September 2012 04:43

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