真空的 PI 的最小的现成的有六足的反馈装置可能处理负荷 11 lbs。 每个单个致动器有一个确定的解决方法 40 毫微米,与传统栈一个唯一轴是等同的六个各自的单一轴反馈装置。
明显功能
6 轴有六足的斯图尔特平台明显功能是:
- 微型高精密度有六足。
- 与管理员 & 软件的 6 轴定位系统。
- 11 磅 - 负荷能力 (5 kg)。
- 40 毫微米致动器解决方法。
- ±200 nm 反复性。
- 对 10 个 mm/second 的速度。
- 136 mm,高度直径: 114 mm。
有六足与序列动力学系统
有六足拥有一个唯一移动平台: 此设计提供更高的刚度和大清楚的开口。 由于小的移动,质量运算可以快速地进行比与常规,被堆积的多轴的系统。