集成超高解决方法压力驱动器的福利与动力化的阶段的长的旅行范围的高精密度的粗糙/细致的 XYZ 阶段是计算机可控制，紧凑 XYZ 对准线和定位系统。 八个版本是可用的有步进和 DC 马达粗糙的驱动器和开放和闭环压电罚款驱动器。 自动化的 XYZ 光子的组件对准线的一个高性能管理员也是可用的。
明显功能
F-131 PI 的明显功能是：
- 它是一个高速粗糙或细致的对准线解决方法。
- 它用自动化的对准线的高性能管理员装备。
- 完成在 1 个 S. 的较少的设备描述特性。
- 闭环辅助电动机和梯级电动机是可用的。
- 它有一个确定的范围 15 mm 在 XYZ。
- 它有 1 nm 解决方法。
- 100x100x100 μm 压力高解析度
- 选项闭环压力是可用的。